第308章 给光刻机装“眼睛”-《直播1980:网友教我手搓火箭》


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    “是它从来就没坏过。”

    他绕着GK-3走了一圈。

    军大衣被掀开大半,露出主光路系统的铸铝外壳。

    汞灯光源的接口擦得锃亮,连螺纹里都没有积灰。

    “陈师傅。”

    “这台机器当年下马,不是因为光学系统不行。”

    林希停在XY工作台前。

    用指甲弹了一下导轨侧面的刻度盘。

    “是因为这个。”

    陈默一愣。

    “套刻对准。”

    林希蹲下去。

    指着工作台底部一组老式的蜗轮蜗杆传动机构,

    “纯机械传动,没有位置反馈。”

    “丝杠转一圈,理论行程是0.5毫米。”

    “但实际上,蜗轮齿面磨损不均匀。”

    “每转一圈的真实位移都不一样。”

    他站起来,拍了拍手上的灰。

    “套刻精度要求正负5微米。”

    “这套机械传动的累积误差,最大能到8微米。”

    “所以第二层图形永远对不准第一层。”

    “废片率超过六成。”

    陈默的身体晃了一下。

    他当然知道。

    这个问题困扰了整个109会战团队两年。

    他师傅为了解决这个死区。

    在显微镜前连续坐了七十二个小时。

    左眼的视网膜就是那时候脱落的。

    最后也没解决。

    林希从公文包里抽出一张图纸,展开铺在行军床上。

    图纸上画着一套改造方案。

    XY工作台两侧,各加装一条光栅尺。

    光栅尺的信号接入一块数字控制板。

    控制板驱动两台微型伺服电机。

    替换原有的手摇蜗轮。

    “红星和长光所联合自研自产的光栅尺,分辨率1微米。”

    林希用笔尖点着图纸,

    “配合闭环伺服控制。”

    “丝杠的累积误差,在每个采样周期内实时补偿。”

    他看向陈默。

    “你的机器什么都好。”

    “光学系统是王老定的方案。”

    “底座经过四年自然时效,主光路没跑偏。”

    “它就差一双眼睛。”

    “现在,我把眼睛给它装上。”

      


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